白光干涉仪 北京普瑞微纳科技有限公司

产品介绍

PR05/06白光干涉三维形貌仪是采用日本尖端的的白光干涉扫描技术研制的纳米量级形貌测量仪器，透过精密的扫描系统和自主专利的解析算法，进行样品表面微细形貌的量测与分析。表面显微成像能力与高精度测量的完美结合，只需数秒钟，就能观测到三维表面、台阶高度、表面纹理、微观尺寸以及各类参数的测量结果。

 产品原理

照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据干涉条纹明暗度解析出被测样品的相对高度。

 产品特点

1. 非接触、高稳定性、高速度测量 
2. 高精度测量、结果可作为计量标准：垂直解析度可达0.1nm、水平解析度可达0.1um
3. 大面积测量  自动缝合技术实现大面积高精度测量
4. 功能强大、使用便捷的测量分析软：PRVision应用软件可提供多项测量参数
5. 适用范围广泛  可以测量多种类型样品的表面微细结构
6. 真正意义的免维护及优良的性能价格比

 软件功能

1. 硬件控制、二维载物平台自动控制、光学系统自动聚焦、干涉信号处理
2. 测量结果显示及各种方式处理：二维平面和三维立体显示、任意放大或缩小显示图像、调平和多角度自由旋转
3. 粗糙度测量及结果显示：包括评价区域位置信息和多种粗糙度评价参数
4. 线宽测量及结果显示：采用亚像素插值处理技术，线宽测量精度最高可达0.1um、表格形式显示各种线宽结果、根据事先确定的评判基准，实现线宽自动评判功能
5. 多幅相邻区域测量结果自动缝合

 应用领域

在众多高科技研发及产业中，诸如半导体、微机电、平面显示器与电子封装等，由于微结构表面轮廓的准确性决定产品的功能和效能，在其制成过程中皆需针对微结构的表面轮廓品质进行检测，PR系列产品提供多种表面参数量测功能如断差高度、线宽、面积、体积、粗糙度、薄膜厚度及平整度以满足业界及研究部门之需求。无论是抛光表面还是粗糙表面，只要反光率超过1%，就能被完全检测出来。半导体硅片及器、MEMS装置表面、平面液晶显示器、薄膜厚度、金属摩擦学、陶瓷基板表面、光学器件表面、其他材料分析及微表面研究。 

北京普瑞微纳科技有限公司
雷先生
电话：01062525266 
传真：01062525299 
地址：北京市海淀区中关村东路95号8号楼415室 
邮编：100190 
网址：http://bjpurui.testmart.cn
http://www.bjpurui.cn