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ABB计划推出傅立叶变换式红外线分光仪-WPA

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浏览 次【字号 】 发布时间:2012-7-6 打印本页

ABB计划推出傅立叶变换式红外线分光仪-WPA

 

  ABB计划推出傅立叶变换式红外线分光仪-WPA,通过对药液进行实时监测,不仅能够提高最终产品的质量与成品率,同时还能减少药液的用量和废弃量。

 

  WPA是一种傅立叶变换式红外线分光仪,利用光纤连接用于半导体制造工艺的检测单元“ClippIR+”。在不发生污染的非接触状态下,最多可对8个测量点进行管理。测量对象达30多种,包括氢氧化铵(NH4OH)、过氧水(H2O2),盐酸(HCL)、氢氧化钾(KOH)、氟化铵(NH4F)、氟化氢(HF)和醋酸(Acetic Acid)等。不论溶液中是什么成分,每个测量点只需51秒即可完成测量。

 

  由于能够将分析系统本身安装在离测量点最远为100m的位置,因此能够在没有药液的空气环境中进行管理,还可与控制系统结合使用。由于ClippIR+尺寸很小,因此不需改造生产线即可配置。而且采用了含氟树脂加工,耐腐蚀。此外,还安装了用于湿式工艺的管理与控制专用软件。该软件除显示各测量点药液成分、浓度和趋势,保存数据等功能外,还具有一旦相关数据超过容许范围就会报警的功能。 

 

 

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