日本尼康研制的FX-75S(85S)LCD用曝光机,是液晶面板生产线中,薄膜晶体管光刻技术的核心设备。每台占地面积11×15米,生产节奏为60秒每片。京东方8.5代线共采购了16台FX-85S曝光机,单台价格估计接近2亿元人民币。
目前全球LCD曝光机市场被日本尼康和佳能垄断,2009年Nikon出货45台,Canon出货38台。随着中国LCD产业规模迅速扩大,我国企业必须竭尽全力,在设备、原材料配套领域建立起自主体系。只有具备全产业链竞争力的国家,才能在激烈的市场搏杀中,立于不败之地。
从图中可看出8.5代线传送设备幅宽大于玻璃基板,10代线同样如此,传送3,000mm* 3400mm*0.5mm第11代玻璃基板也行。
尼康第10世代2880*3130mm液晶曝光装置 FX-101S可小幅度改动为第11世代液晶曝光装置。
目前全球LCD曝光机市场被日本尼康和佳能垄断,2009年Nikon出货45台,Canon出货38台。随着中国LCD产业规模迅速扩大,我国企业必须竭尽全力,在设备、原材料配套领域建立起自主体系。只有具备全产业链竞争力的国家,才能在激烈的市场搏杀中,立于不败之地。
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