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超纯水设备、电子超纯水一般工艺流程

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浏览 次【字号 】 发布时间:2012-7-13 打印本页

超纯水设备、电子超纯水一般工艺流程

 电子超纯水一般工艺流程:
  
  (水质符合美国ASTM标准,电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)
  
  典型工艺2:原水→预处理→反渗透→EDI→精密过滤→用水点
  
  ·预处理-反渗透-中间水箱-水泵-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象
  
  ·预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
  
  ·预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
  
  ·预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
  
  应用场合:
  
  ·半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
  
  ·超纯材料和超纯化学试剂;
  
  ·实验室和中试车间
  
  ·汽车、家电表面抛光处理;
  
  ·其他高科技精微产品。
 

 

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